在芯片制造過程中,無塵車間的原料接收區(qū)是保障生產(chǎn)質(zhì)量的第一道防線。本文合景凈化工程公司將詳細(xì)闡述芯片廠房無塵車間裝修原料接收區(qū)的設(shè)計要點(diǎn)。
一、設(shè)計原則
原料接收區(qū)作為無塵車間的入口,必須滿足相應(yīng)的潔凈度要求。根據(jù)芯片制造工藝的需求,通常需要達(dá)到百級或千級的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。合理的氣流組織可以有效控制污染物的擴(kuò)散,保證原料接收區(qū)的潔凈度。通常采用上送下回的氣流組織形式,并設(shè)置高效過濾器以過濾空氣中的顆粒物。為了避免人員活動對原料造成污染,原料接收區(qū)應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的人流和物流通道,并采取相應(yīng)的隔離措施。
二、功能分區(qū)設(shè)計
芯片廠房無塵車間裝修合理的功能分區(qū)是原料接收區(qū)高效運(yùn)作的基礎(chǔ),一般可劃分為以下幾個關(guān)鍵區(qū)域。
卸貨與初步檢查區(qū)需靠近車間外部的卸貨平臺,設(shè)置防雨、防塵的卸貨棚,地面采用耐磨、防滑、易清潔的環(huán)氧樹脂地坪,便于叉車等搬運(yùn)設(shè)備作業(yè)。
凈化處理區(qū)是接收區(qū)的核心區(qū)域,用于去除原料外包裝的污染物。根據(jù)原料特性不同,可設(shè)置真空清潔設(shè)備、高壓風(fēng)淋裝置或?qū)S玫耐獍b清潔機(jī)。
暫存區(qū)用于短期存放經(jīng)過凈化處理的原料,需根據(jù)原料的存儲條件進(jìn)行設(shè)計。對于有恒溫恒濕要求的原料,暫存區(qū)應(yīng)配備空調(diào)和除濕設(shè)備,溫度控制在20-24℃,相對濕度控制在45%-55%。
緩沖區(qū)是連接暫存區(qū)與車間內(nèi)部的過渡空間,通常設(shè)置氣閘室或傳遞窗。氣閘室可實(shí)現(xiàn)人員和物料的雙向傳遞,通過氣壓控制防止污染物擴(kuò)散;傳遞窗則用于小型物料的傳遞,具備紫外線消毒功能,確保物料在傳遞過程中不受污染。
三、關(guān)鍵要素
根據(jù)潔凈度要求選擇合適的過濾器和風(fēng)機(jī),并合理布置送風(fēng)口和回風(fēng)口。地面和墻面材料應(yīng)選擇防塵、易清潔、耐腐蝕的材料。照明系統(tǒng)應(yīng)選擇無塵燈具,并合理布置燈具位置,以提供足夠的照明強(qiáng)度和均勻的照明效果。物流設(shè)備應(yīng)選擇防塵、易清潔的材料,并合理布置以減少人員與原料的直接接觸。
四、細(xì)節(jié)設(shè)計要點(diǎn)
芯片廠房無塵車間裝修密封與隔離方面,所有門窗、墻壁縫隙需進(jìn)行密封處理,防止外界空氣滲入;不同區(qū)域之間的隔斷采用不銹鋼或鋼化玻璃材質(zhì),既保證隔斷的堅固性和潔凈度,又便于觀察內(nèi)部作業(yè)情況。
清潔與維護(hù)便利性設(shè)計方面,地面與墻面的交界處采用圓弧角處理,避免衛(wèi)生死角;凈化處理區(qū)和暫存區(qū)的設(shè)備布局應(yīng)預(yù)留足夠的清潔通道,便于日常清潔和設(shè)備維護(hù)。
照明與標(biāo)識設(shè)計方面,各區(qū)域的照明亮度應(yīng)達(dá)到300-500勒克斯,采用防塵、防水的潔凈燈具,避免眩光影響操作;區(qū)域標(biāo)識應(yīng)清晰明確,采用耐腐蝕的材料制作,確保長期清晰可見。
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