在半導體制造、精密電子元器件生產等領域,電子凈化工程的潔凈室裝修質量直接決定產品良率。裝修階段若粉塵控制失效,微米級顆粒不僅會堵塞設備氣孔、污染晶圓表面,甚至可能引發電路短路等問題。
電子凈化工程裝修依據項目的潔凈度等級要求、施工流程以及現場環境特點,制定詳細且具有針對性的防塵方案。方案中還需包含應急處理措施,以應對可能出現的突發情況,如大風天氣導致的外部塵埃侵入等。
在工程施工前,組織全面的防塵培訓課程。施工現場應采用堅固耐用的圍擋材料,將整個施工區域與外界完全隔離。在圍擋的拼接處和出入口,使用密封膠條進行密封處理,確保無縫隙。對于不同潔凈度要求的施工區域,進一步采用雙層或多層隔離措施,設置緩沖間、氣閘室等過渡區域。
物料采購環節,優先選擇低塵或無塵的建筑材料和設備。對于必須進行現場加工的物料,提前規劃好加工區域,并配備完善的防塵設施。物料在運輸和存放過程中,應使用防塵包裝進行包裹,避免在搬運和堆放過程中受到外界塵埃的污染。
電子凈化工程裝修在進行墻面基層處理、膩子刮涂和打磨等作業時,使用噴霧設備對作業面進行持續噴水濕潤,使粉塵在濕潤狀態下不易飛揚。配備大功率的工業吸塵器,在施工過程中實時吸除產生的粉塵。
在地面基層處理階段,先對地面進行全面清掃,去除雜物和灰塵。在地磚或地板鋪設過程中,施工人員應穿戴潔凈的工作服和鞋套,避免將外界塵埃帶入施工現場。每鋪設一定面積后,及時使用吸塵器對地面進行清理。地面施工完成后,立即鋪設防塵保護膜,防止后續施工對地面造成污染。
在車間通風管道的制作和安裝過程中,采用無塵車間進行管道的加工和組裝,確保管道內部的清潔。管道連接處使用密封膠進行密封處理,防止灰塵進入管道內部。對于空調機組等設備,在安裝前應進行全面的清潔和檢查,更換老化的過濾器,確保設備的過濾性能符合要求。
在設備安裝前,對安裝現場進行再次清潔和凈化處理,確保安裝環境的塵埃濃度符合要求。施工人員應穿戴符合潔凈標準的防護裝備。在設備搬運過程中,使用專用的防塵包裝和搬運工具,避免設備表面受到塵埃污染。對于精密設備的安裝,應在潔凈操作臺上進行,操作臺應具備良好的防塵和防靜電性能。
電子凈化工程施工完成后,對整個車間區域進行全面、深度的清潔。采用專業的清潔用具,按照從高到低、從里到外的順序進行清潔。對于頂棚和墻面,使用專用的無塵清潔工具,去除殘留的灰塵和污漬。
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